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Карбид кремния: технология, свойства, применение
Беляев А.Е.
,
Конакова Р.В. (ред.)
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russian
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2
Физические методы диагностики в микро - и наноэлектронике
Беляев А.Е.
,
Конакова Р.В (ред.)
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